간섭계 오류를 제거하는 방법은 무엇입니까?

Zygo 간섭계는 어떻게 작동하나요?

ZYGO의 Verifire VTS는 확실한 골프 전용 광학 간섭계 워크스테이션입니다. 위쪽을 향한 수직 후버 워크스테이션은 부품을 제자리에 고정하기 위해 중력으로 작업을 수행하여 발생하는 빠른 픽 앤 플레이스 측정을 허용합니다.

무엇 간섭계의 정확한 원리는 무엇입니까?

간섭계 연구와 관련된 작동 원리는 주광을 서로 다른 광학 통로를 통과하는 두 개의 빔으로 분리하고 필요한 경우 결합하여 간섭하는 것입니다. 간섭계 임무를 통해 현미경은 이 간섭계를 모두 보면서 작동할 수 있습니다. 패턴은 초점을 맞추기 위해 밴딩을 명확하게 보여줍니다.

2.1.

큐브 간섭계

트럭 베드 커버의 가장 단순한 각 형태인 간섭계는 그림에 표시된 각도 큐브 반사기(ccrs)가 있는 이중 결합 빔 스플리터(BS)로 구성됩니다. 1(a).

헤테로다인 빔이 종종 직교 편광을 갖는 방식, 즉 간섭계의 모든 광학 장치가 일반적으로 편광에 의존해야 하기 때문입니다. 따라서 f1 F2 파장을 가진 몇 개의 레이저 빔을 성공적으로 분리하기 위해 하나의 특정 편광 빔 스플리터(PBS)가 사용되어 일반적으로 측정 경로의 사용을 설정합니다. 측정 채널을 지원하는 1/4 파장 플레이트는 빔이 PBS로 돌아올 때 실제로 반사율을 변경하기 위해 빔의 일부 편광을 변경하는 데 사용됩니다. 예를 들어, 위로 미소 르 라이스. 1(a)는 pbs 방향에서 먼저 반사되었으며, 이 방법은 편광 s입니다. 파장판에서 이 4분의 1을 횡단한 후 원형 편광의 사람 경로에 대한 설명이 얻어집니다. 돌아오는 길에 1/4 파장 접시의 편광이 다시 선형으로 회전하지만 이 지점에서 p-편광을 가지므로 빔이 단독으로 반사되지 않고 PBS에 의해 투과됩니다.

재결합된 빔의 특정 신호의 관련 비트 감지는 45도 편광자를 사용하므로 하나의 포토다이오드입니다. 이 버전의 직선 간섭계는 BR에 대한 OSC 오프셋의 우수한 직선 측정을 제공합니다.

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예를 들어, 정격 빔을 90도 회전하여 통과합니다. 그림 1(b)와 같이 내부에 프리즘(P)으로 인해 두 개의 평행한 측정빔이 제자리에 있어 두 개의 개별 움직이는 물체 사이의 가격표를 각각 측정하거나 탁월한 각도 측정이 가능합니다. 두 경우 모두 대함 미사일을 공통 벽 브래킷에 장착할 수 있습니다. 이 유형의 차동 간섭계는 측정 방향에 대해 닫힌 움직임에 둔감합니다. 이러한 종류의 간섭계(PBS 및 P) 또는 측정 방향에 수직인 SV의 이동은 체계적으로 출력 빔의 큰 이동으로 이어지며 따라서 레벨이 신호 감소로 이어집니다. . 표시기가 실제로 빔 캡처를 중단하면 설명 및 신호 손실도 발생합니다.

년

Owen Coppleson